一、洁净形式
1、洁净室按工艺特点、空气洁净度等级和布置要求分为隧道式、开放式和微环境等；
2、洁净室按气流流型分为单向流洁净室、非单向流洁净室和混合流洁净室。
3、电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度要求严格时，宜采用微环境型式。
二、防火设计要求
1、电子洁净厂房的耐火等级不应低于二级。
2、电子洁净厂房洁净区各层专用消防口的设计，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB 50073 的有关规定。
三、环境参数控制要求
微粒、对产品质量有害的杂质、温度、湿度、压差、噪声、振动、静电防护、照度等。
四、洁净厂房空气吹淋室的设计要求（人员净化）
1、在洁净室（区）的入口处宜设空气吹淋室，当不设空气吹淋室时，应设气闸室；
2、吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位；
3、单人空气吹淋室，应按最大班人数每 30 人设—台。洁净室（区）工作人员超过5 人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门；
4、空气吹淋室的进、出 门不得同时开启，要采取连锁控制措施；
5、空气洁净度等级为 5 级或严于 5 级的垂直单向流洁净室（区），宜设气闸室；
6、洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室（区）的空气洁净度等级。
五、静压差设计要求
1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于 5Pa；
2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于 5Pa；
3、洁净室与室外的静压差应大于 10Pa。
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